半導体製造装置用温度センサ

TEMPERATURE SENSORS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE


   高速応答サニタリ温度センサ
   超極細シース熱電対
   高温用シース熱電対
   耐圧防爆形温度センサ
   耐圧防爆形ニップル温度センサ
   本質安全防爆形温度センサ
   半導体用温度センサ
   真空熱盤ヒータ
   非発熱部付きマイクロヒータ
   薄膜白金抵抗素子
   リボン形測温抵抗体 New!
   温度伝送器
   デジタル放射温度計
 弊社の半導体製造装置用温度センサは、各種半導体製造プロセスにおける温度管理に使用される、重要度の高い温度センサです。拡散炉用プロファイル温度センサを始めとする、1000℃ 以上の高温用から、クリーンルームの温度コントロール用センサまで様々なニーズに応える製品を、高度な品質管理システムと実績に裏付けされた技術を基に供給いたします。

■ 特徴

■ ISO9001に基づく高度な品質管理システム。
■ 原子力・ロケット等の先進技術分野で実績の技術力。
■ 管理された専用のクリーンルームでの製造。
■ プロファイル温度センサ専用の温度校正システム。

■ 製品群

■ 拡散炉用プロファイル熱電対
■ 高精度高温用熱電対校正システム
■ 高温用シース形熱電対(φ1.6、1200℃)
■ 真空機器用シース熱電対(pdfカタログ

■ 拡散炉用3対式プロファイル熱電対

エレメント :R(白金ロジウム合金)
保護管  :石英ガラス・SiC
使用温度 :1000℃