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半導体製造装置用温度センサ
TEMPERATURE SENSORS FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE |
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| 弊社の半導体製造装置用温度センサは、各種半導体製造プロセスにおける温度管理に使用される、重要度の高い温度センサです。拡散炉用プロファイル温度センサを始めとする、1000℃ 以上の高温用から、クリーンルームの温度コントロール用センサまで様々なニーズに応える製品を、高度な品質管理システムと実績に裏付けされた技術を基に供給いたします。
■ 特徴
■ 製品群
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■ 拡散炉用3対式プロファイル熱電対
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