|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
OKAZAKIがこれまで培ってきた熱と温度計測における高い技術力を応用し、最高使用温度はヒータ表面においてMAX900℃、均熱性は±1%以内を実現しました。 サイズは円盤状で12インチサイズに対応し、1mを越える角形のヒータも製造可能です。熱盤の材質は様々な種類に対応し、アルミニウムやステンレス鋼の他、腐食性ガスに対応可能な耐食性の高いインコネル系の合金等でも製作可能です。 OKAZAKIの真空熱盤ヒータは、半導体・FPD、太陽電池パネル等の製造プロセスにおける真空雰囲気において使用される均熱性の高いプレート状のヒータです。
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
![]() |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
![]() |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
![]() |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
![]() |
![]() |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
丸形真空熱盤
外径:φ300 材質:SUS316 設計温度:600℃ |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空容器内にて通電・昇温試験中。温度600℃ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||