AEROHEAT®

AEROHEAT®は当社のMIケーブル製造技術をもとに開発した長寿命で真空での使用に適したヒータです。

AEROHEATの製品画像

ホットプレートヒータ取付例の画像 ホットプレートヒータ取付例

セラミック気密端子付ヒータ例の画像 セラミック気密端子付ヒータ例

非発熱部付きマイクロヒータの画像 非発熱部付きマイクロヒータ

特長

  • 写真のようなパネルヒータを何枚も組み合わせることにより8Gを超えるような大型ガラス基板でも細やかな温度制御が可能です。
  • 半導体製造装置に使用するホットプレートでは早い昇温スピードと均一な温度分布が可能です。
  • 端子部にセラミック気密端子を使用することで真空中での電源取り合いが可能です。

カタログ

AEROHEAT®の画像

製品カタログ

AEROHEAT®カタログ

カタログNo.:OMC-7006

お問い合わせ